فرن أنبوب الغلاف الجوي الفراغي الصانع والمورد في الصين
1600 درجة مئوية فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD
1600 درجة مئوية فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD

1600 درجة مئوية فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD

يوفر نظام CVD لفرن أنبوب الهواء / الفراغ 1600 درجة مئوية (CVD-TF) بيئة تجريبية مع فراغ وجو يمكن التحكم فيه ودرجة حرارة عالية ، ويستخدم في أشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو والألياف وغيرها من المجالات. يعد نظام نمو CVD مناسبًا لعملية CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو القابل للتحكم في البنية النانوية ZnO ، وتلبيد الغلاف الجوي بمكثف السيراميك (MLCC) وتجارب أخرى.
  • نموذجCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • علامة تجاريةLABOAO
  • ميناءأي ميناء في الصين
  • صفقةحزمة حالة الخشب الرقائقي
طلب اقتباسالدردشة الآن
  • Whatsapp

    WhatsApp Chat

  • Wechat

    WeChat Chat

تحميل


وصف

يوفر نظام CVD لفرن أنبوب الهواء / الفراغ 1600 درجة مئوية (CVD-TF) بيئة تجريبية مع فراغ وجو يمكن التحكم فيه ودرجة حرارة عالية ، ويستخدم في أشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو والألياف وغيرها من المجالات. يعد نظام نمو CVD مناسبًا لعملية CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو القابل للتحكم في البنية النانوية ZnO ، وتلبيد الغلاف الجوي بمكثف السيراميك (MLCC) وتجارب أخرى.

المميزات

1.الفرن مصنوع من امتصاص الفراغ بألياف الموليت متعدد الكريستالات ، ومجال درجة الحرارة موحد وتوفير الطاقة أكثر من 50٪

2 تضمن تقنية تحويل الهواء والعزل الحراري المطورة ذاتيًا عمر الخدمة وتأثير درجة الحرارة الثابتة لكل مكون في الصندوق

3.عند بدء تشغيل الفرن الكهربائي ، سوف تعمل مروحة العادم تلقائيًا في نفس الوقت. بعد الاختبار ، ستستمر مروحة العادم في العمل حتى تنخفض درجة حرارة جسم الفرن عن 60 درجة مئوية ، وستتوقف مروحة العادم تلقائيًا ، مما يحمي سطح جسم الفرن بشكل فعال.

4 يتم فتح باب الفرن بإيقاف التشغيل التلقائي ، ووظيفة الحماية من درجة الحرارة الزائدة ، ووظيفة حماية التسرب لضمان سلامة الاستخدام.

5.تتبنى الدائرة وضع خرج التسخين المستمر ، وإمدادات الطاقة ثنائية الدائرة ، والأسلاك المنفصلة للتيار القوي والضعيف مما يحسن من استقرار النظام

6 تعتمد وحدة التسخين إشارة التيار المستمر لضبط طاقة الخرج ، مما يتجنب تداخل الكهرباء المستحثة في إشارة التحكم.

7. أزرار معدنية منخفضة الجهد تستخدم لأزرار التشغيل ، مع أضواء مؤشر الحالة ، عملية آمنة وبديهية.

8.أجسام الفرن العلوية والسفلية متصلة بمقابس طيران ، وهي آمنة وموثوقة ومريحة للتوصيل.

9 مجموعة دائرة الغاز مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة الغذاء 316 ، والذي يتميز بمقاومة التآكل ، ومقاومة التآكل في الغلاف الجوي ومقاومة درجات الحرارة العالية ، وهو غير مغناطيسي.

10.اعتماد أداة عرض التدفق الرقمي ، والتعاون مع وحدة التحكم في التدفق الشامل ، وجمع البيانات والتحكم في التدفق. يتميز بخصائص التكرار الجيد وسرعة الاستجابة السريعة والاستقرار والموثوقية. (نظام التحكم في التدفق الشامل للغاز)

11. وظيفة التحكم التلقائي والتحكم اليدوي ، يمكن لوضع التحكم التلقائي أن يفتح / يغلق مضخة التفريغ تلقائيًا من خلال القيمة المحددة ، بحيث يمكن الاحتفاظ بالحاوية ضمن نطاق ضغط فراغ معين. يستخدم وضع التحكم اليدوي المستخدم لتشغيل مضخة التفريغ مباشرة عبر زر تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ. لتلبية احتياجات التجارب المختلفة. (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)

12. تكنولوجيا التشغيل البطيء لصمام الملف اللولبي تجعل الصمام اللولبي مفتوحًا بعد 10 ثوانٍ من تشغيل مضخة التفريغ ، بحيث يظل ضغط النظام في أنبوب الفرن دقيقًا ، كما يضمن عدم عودة غاز العادم إلى الفرن نظام الأنبوب للتأثير على التأثير التجريبي (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)

13.إنذار ارتفاع درجة الحرارة ، قفل القائمة ، منع ارتفاع درجة الحرارة ، تأخير استعادة الطاقة.

14.باستخدام تكنولوجيا الصمام أحادي الاتجاه ، يتم التحكم في تدفق الغاز ضمن نطاق ضغط يمكن التحكم فيه لضمان السلامة.

15.جهاز خزان خلط الغاز مستخدم ، بحيث يمكن إدخال الغاز إلى غرفة العمل بعد خلطه بالكامل لضمان عدم تسربه.

مواصفات

نموذج

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

نطاق الحرارة الشغالة

300 ~ 1600

قرار درجة الحرارة

1

التحكم في درجة الحرارة

± 1

معدل التسخين

0 ~ 20   / دقيقة

طول منطقة التسخين

260mm

600mm

طول منطقة درجة حرارة ثابتة

120mm

300mm

درجة الفراغ

-0.1 ميجا باسكال

وقت تسخين الفرن الفارغ

15 دقيقة

الخارج

صفائح فولاذية مدلفنة على البارد مع طلاء   مقاوم للمواد الكيميائية على السطح

جسم الفرن

ألياف موليت الكريستالات

حجم الفرن

440*390*330

780*390*330

أنبوب الفرن

أنبوب اكسيد الالمونيوم

حجم أنبوب الفرن

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

سخان

قضيب الموليبدينوم السيليكون

قوة التسخين

4KW

4KW

10KW

10KW

طبقة عازلة للحرارة

طبقة مزدوجة لتحويل الهواء القسري

مراقب

P: العرض الرقمي للتحكم في درجة حرارة البرنامج   المستورد ؛ T: برنامج التحكم في درجة الحرارة بشاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات

طريقة التحكم

استخدام جهاز كمبيوتر صغير تحكم PID / منطقة   درجة حرارة مزدوجة من النوع S تحكم منفصل في درجة الحرارة

كيفية التعيين

P: المس الأزرار الخمسة للعمل ، وإعداد العرض   الرقمي ؛ T: المس الإصبع لضبطه

طريقة العرض

P: شاشة رقمية LED مزدوجة الخط ؛ T: شاشة   LCD ملونة

توقيت

0 ~ 999.9 ساعة

تشغيل وظيفة

عملية القيمة الثابتة ، تشغيل البرنامج

وضع البرنامج

P: تشغيل البرنامج ، 4 منحنيات ، 40 خطوة   إجمالاً ؛ T: 50 خطوة يمكن أن تستدعي البرنامج المخزن

المستشعر

اكتب S. الحرارية

وظيفة مساعدة

P: وظيفة التصحيح ؛ T: وظيفة التصحيح ، تسجيل   منحنى في الوقت الحقيقي ، تصدير بيانات قرص U

معدات السلامة

مفتاح حماية تسرب التيار الزائد

مفتاح حماية التيار الزائد

عدد الممرات الهوائية

3 قنوات (يمكن اختيار عدد القنوات الهوائية   حسب الاحتياجات الخاصة)

مجموعة تدفق

0-0500sccm (قياسي مل / دقيقة ، اختياري)   معيار النيتروجين

دقة

± 1٪ F.S

وقت الاستجابة

≤4 ثانية

درجة حرارة التشغيل (مقياس التدفق)

5-45

ضغط العمل

ضغط المدخل 0.05-0.3 ميجا باسكال (قياس الضغط)

اتصال النظام

استخدم منفاخ التوصيل السريع KF ، وصمام   الزعنفة اليدوي عالي الفراغ ، وأداة قياس الفراغ الرقمي للعرض

نطاق فراغ النظام

10-100 باسكال

مضخة فراغ

درجة الفراغ النظرية النهائية للمضخة الميكانيكية   ذات المرحلتين هي 3x10-1Pa ، ومعدل الضخ 4L / s ، ومخرج الهواء مجهز بفلتر زيت ،   والجهد المقدر 200V ، والطاقة 0.55Kw

تكوين نظام CVD

فرن أنبوب مفرغ بدرجة 1600 درجة (منطقة درجة   حرارة فردية اختيارية ، منطقة درجة حرارة مزدوجة) نظام تحكم في التدفق الكتلي متعدد   القنوات نظام فراغ

طلب اقتباس

احصل على خصم 50 دولارًا!