وصف
يوفر بيئة تجريبية بها فراغ وجو متحكم فيه ودرجة حرارة عالية.
يعد نظام نمو CVD هذا مناسبًا لعمليات CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو المتحكم فيه للبنى النانوية ZnO ، وتجارب تلبيد الغلاف الجوي MLCC.
يوفر بيئة تجريبية بها فراغ وجو متحكم فيه ودرجة حرارة عالية.
يعد نظام نمو CVD هذا مناسبًا لعمليات CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو المتحكم فيه للبنى النانوية ZnO ، وتجارب تلبيد الغلاف الجوي MLCC.
1.الفرن مصنوع من الامتزاز الفراغي بألياف الموليت متعدد الكريستالات ، ومجال درجة الحرارة موحد وتوفير الطاقة أكثر من 50٪
2. تضمن تكنولوجيا تحويل الهواء والعزل الحراري عمر الخدمة وتأثير درجة الحرارة الثابتة لكل مكون في الصندوق
3. قم بتشغيل الفرن الكهربائي ، وسوف تعمل مروحة العادم تلقائيًا في نفس الوقت. بعد الاختبار ، ستستمر مروحة العادم في العمل حتى تنخفض درجة حرارة جسم الفرن عن 60 درجة مئوية ، وستتوقف مروحة العادم تلقائيًا ، مما يحمي سطح جسم الفرن بشكل فعال.
4. إيقاف التشغيل التلقائي ، وظيفة الحماية من درجة الحرارة الزائدة ، وظيفة حماية التسرب لضمان سلامة الاستخدام
5. تتبنى الدائرة وضع خرج التسخين المستمر ، وإمداد الطاقة ثنائي الدائرة ، والأسلاك المنفصلة للتيار القوي والضعيف مما يحسن من استقرار النظام
6. تتبنى وحدة التسخين إشارة DC لضبط طاقة الخرج ، والتي تتجنب تداخل الكهرباء المستحثة مع إشارة التحكم.
7. التعويض الأوتوماتيكي لتأثير التحكم في درجة الحرارة الناجم عن درجة الحرارة أو الشيخوخة على تغيير قيمة المقاومة لقضيب كربيد السيليكون ، وتجنب عدم الدقة وخطر الضبط الاصطناعي
8. اعتماد أداة عرض التدفق الرقمي ، والتعاون مع وحدة التحكم في التدفق الشامل ، وجمع البيانات والتحكم في التدفق. يتميز بخصائص التكرار الجيد وسرعة الاستجابة السريعة والاستقرار والموثوقية. (نظام التحكم في التدفق الشامل للغاز)
9. وظيفة التحكم الآلي والتحكم اليدوي ، يمكن لوضع التحكم الأوتوماتيكي تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ تلقائيًا من خلال القيمة المحددة للحفاظ على الحاوية ضمن نطاق ضغط فراغ معين. يستخدم وضع التحكم اليدوي المستخدم لتشغيل مضخة التفريغ مباشرة عبر زر تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ. لتلبية احتياجات التجارب المختلفة. (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
10 تقنية البدء البطيء لصمام الملف اللولبي ، بحيث يتم فتح الصمام اللولبي بعد 10 ثوانٍ من تشغيل مضخة التفريغ ، بحيث يظل ضغط النظام في أنبوب الفرن دقيقًا ، ويضمن أيضًا عدم عودة غاز العادم إلى نظام أنبوب الفرن للتأثير على التأثير التجريبي (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)
نموذج | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
نطاق الحرارة الشغالة | 300~1400℃ | |||
قرار درجة الحرارة | 1℃ | |||
التحكم في درجة الحرارة | ± 1℃ | |||
معدل التسخين | 0 ~ 20 ℃ / دقيقة | |||
طول منطقة التسخين | 200mm | 400mm | ||
طول منطقة درجة حرارة ثابتة | 70mm | 140mm | ||
درجة الفراغ | -0.1 ميجا باسكال | |||
وقت تسخين الفرن الفارغ | ≤ 15 دقيقة | |||
معدل التسخين عند تكوين أنبوب الفرن | أقل من 500 ℃ ≤5 ℃ / دقيقة ; 500-1000≤10 ℃ / دقيقة ; 1000-1200≤5 / دقيقة ; 1000-1400≤2 ℃ / دقيقة | |||
الخارج | ألواح فولاذية مدلفنة على البارد مع طلاء مقاوم للمواد الكيميائية على السطح | |||
جسم الفرن | ألياف موليت الكريستالات | |||
حجم الفرن | 360*350*350mm | 560*350*350mm | ||
أنبوب الفرن | أنبوب اكسيد الالمونيوم | |||
حجم أنبوب الفرن | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 |
سخان | قضيب كربيد السيليكون | |||
قوة التسخين | 3KW | 5KW | ||
طبقة عازلة للحرارة | طبقة مزدوجة لتحويل الهواء القسري | |||
طريق مفتوح | لا | |||
مراقب | P: العرض الرقمي للتحكم في درجة حرارة البرنامج المستورد ؛ T: برنامج التحكم في درجة الحرارة بشاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات | |||
طريقة التحكم | باستخدام جهاز التحكم بالكمبيوتر الصغير PID | |||
كيفية التعيين | P: المس خمسة أزرار للعمل ، وإعداد العرض الرقمي ؛ T: اللمس بالإصبع والنقر للتعيين | |||
طريقة العرض | P: شاشة رقمية LED مزدوجة الخط ؛ T: شاشة LCD ملونة | |||
توقيت | 0 ~ 999.9 ساعة | |||
تشغيل وظيفة | عملية القيمة الثابتة ، تشغيل البرنامج | |||
وضع البرنامج | P: تشغيل البرنامج ، 4 منحنيات ، إجمالي 40 خطوة ؛ T: 50 خطوة يمكن أن تستدعي البرنامج المخزن | |||
المستشعر | اكتب S. الحرارية | |||
وظيفة مساعدة | P: وظيفة التصحيح ؛ T: وظيفة التصحيح ، تسجيل منحنى في الوقت الحقيقي ، تصدير بيانات قرص U | |||
معدات السلامة | مفتاح حماية تسرب التيار الزائد | |||
عدد الممرات الهوائية | 3 قنوات (يمكن اختيار عدد القنوات الهوائية حسب الاحتياجات الخاصة) | |||
مجموعة تدفق | 0-0500sccm (قياسي مل / دقيقة ، اختياري) معيار النيتروجين | |||
دقة | ± 1٪ F.S | |||
وقت الاستجابة | ≤4 ثانية | |||
درجة حرارة التشغيل (مقياس التدفق) | 5-45 | |||
ضغط العمل | ضغط المدخل 0.05-0.3 ميجا باسكال (قياس الضغط) | |||
اتصال النظام | استخدم منفاخ التوصيل السريع KF ، وصمام الزعنفة اليدوي عالي الفراغ ، وأداة قياس الفراغ الرقمي للعرض | |||
نطاق فراغ النظام | 10-100 باسكال | |||
مضخة فراغ | درجة الفراغ النظرية النهائية للمضخة الميكانيكية ذات المرحلتين هي 3x10-1Pa ، ومعدل الضخ 4L / s ، ومخرج الهواء مجهز بفلتر زيت ، والجهد المقدر 200V ، والطاقة 0.55Kw | |||
تكوين نظام CVD | 1400 درجة فراغ أنبوب الفرن متعدد القنوات نظام التحكم في التدفق الشامل نظام فراغ |
لدينا ورشة إنتاج قياسية وفريق إنتاج كامل. إنهم ينتجون دائمًا موقفًا جادًا ومسؤولًا لإنتاج كل منتج. يتكون فريق البحث والتطوير لدينا من مهندسين محترفين متعددي الجوانب مثل مهندس التصميم ، وأخصائي التكنولوجيا ، والمتخصص المؤهل ومدير التحكم في العمليات ، إلخ. والبحث والتطوير والاختبار والإنتاج وفحص الجودة والتعبئة والتغليف.
لقد أثبتت عبوات منتجاتنا إثبات فعاليتها على المدى الطويل ، وعادة ما يكون لدينا صناديق من الخشب الرقائقي أو علب كرتونية بها صواني. سنقوم بترتيب التغليف المناسب وفقًا لوزن وحجم البضاعة. بالطبع ، يمكنك أيضًا اختيار شكل التغليف.
تُستخدم أدوات ومعدات المختبرات الخاصة بنا في العديد من المختبرات العلمية ومؤسسات البحث العلمي والجامعات والمستشفيات ومراكز السيطرة على الأمراض والمؤسسات الأخرى ، ويتم دمجها مع العديد من الأدوية الحيوية المعروفة ، والطاقة الجديدة ، وشركات الإلكترونيات ، وشركات تصنيع الأغذية ، حماية البيئة ، إلخ. التعاون المؤسسي ، يتم تصدير منتجاتنا المستقرة والموثوقة إلى أكثر من 120 دولة حول العالم ، وقد تم الاعتراف بها بشكل كبير من قبلهم ، نعتقد LABOAO ، نحن ننمو معًا!