فرن أنبوب الغلاف الجوي الفراغي الصانع والمورد في الصين
1400 ℃ فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD
1400 ℃ فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD

1400 ℃ فراغ أنبوب الغلاف الجوي فرن نظام CVD

يوفر بيئة تجريبية بها فراغ وجو متحكم فيه ودرجة حرارة عالية. يعد نظام نمو CVD هذا مناسبًا لعمليات CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو المتحكم فيه للبنى النانوية ZnO ، وتجارب تلبيد الغلاف الجوي MLCC.
  • نموذجCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
  • علامة تجاريةLABOAO
  • ميناءأي ميناء في الصين
  • صفقةحزمة حالة الخشب الرقائقي
طلب اقتباسالدردشة الآن
  • Whatsapp

    WhatsApp Chat

  • Wechat

    WeChat Chat

تحميل


وصف

يوفر بيئة تجريبية بها فراغ وجو متحكم فيه ودرجة حرارة عالية.

يعد نظام نمو CVD هذا مناسبًا لعمليات CVD ، مثل طلاء كربيد السيليكون ، واختبار موصلية الركيزة الخزفية ، والنمو المتحكم فيه للبنى النانوية ZnO ، وتجارب تلبيد الغلاف الجوي MLCC.

المميزات

1.الفرن مصنوع من الامتزاز الفراغي بألياف الموليت متعدد الكريستالات ، ومجال درجة الحرارة موحد وتوفير الطاقة أكثر من 50٪

2. تضمن تكنولوجيا تحويل الهواء والعزل الحراري عمر الخدمة وتأثير درجة الحرارة الثابتة لكل مكون في الصندوق

3. قم بتشغيل الفرن الكهربائي ، وسوف تعمل مروحة العادم تلقائيًا في نفس الوقت. بعد الاختبار ، ستستمر مروحة العادم في العمل حتى تنخفض درجة حرارة جسم الفرن عن 60 درجة مئوية ، وستتوقف مروحة العادم تلقائيًا ، مما يحمي سطح جسم الفرن بشكل فعال.

4. إيقاف التشغيل التلقائي ، وظيفة الحماية من درجة الحرارة الزائدة ، وظيفة حماية التسرب لضمان سلامة الاستخدام

5. تتبنى الدائرة وضع خرج التسخين المستمر ، وإمداد الطاقة ثنائي الدائرة ، والأسلاك المنفصلة للتيار القوي والضعيف مما يحسن من استقرار النظام

6. تتبنى وحدة التسخين إشارة DC لضبط طاقة الخرج ، والتي تتجنب تداخل الكهرباء المستحثة مع إشارة التحكم.

7. التعويض الأوتوماتيكي لتأثير التحكم في درجة الحرارة الناجم عن درجة الحرارة أو الشيخوخة على تغيير قيمة المقاومة لقضيب كربيد السيليكون ، وتجنب عدم الدقة وخطر الضبط الاصطناعي

8. اعتماد أداة عرض التدفق الرقمي ، والتعاون مع وحدة التحكم في التدفق الشامل ، وجمع البيانات والتحكم في التدفق. يتميز بخصائص التكرار الجيد وسرعة الاستجابة السريعة والاستقرار والموثوقية. (نظام التحكم في التدفق الشامل للغاز)

9. وظيفة التحكم الآلي والتحكم اليدوي ، يمكن لوضع التحكم الأوتوماتيكي تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ تلقائيًا من خلال القيمة المحددة للحفاظ على الحاوية ضمن نطاق ضغط فراغ معين. يستخدم وضع التحكم اليدوي المستخدم لتشغيل مضخة التفريغ مباشرة عبر زر تشغيل / إيقاف مضخة التفريغ. لتلبية احتياجات التجارب المختلفة. (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)

10 تقنية البدء البطيء لصمام الملف اللولبي ، بحيث يتم فتح الصمام اللولبي بعد 10 ثوانٍ من تشغيل مضخة التفريغ ، بحيث يظل ضغط النظام في أنبوب الفرن دقيقًا ، ويضمن أيضًا عدم عودة غاز العادم إلى نظام أنبوب الفرن للتأثير على التأثير التجريبي (نظام التحكم في الفراغ المتوسط)

مواصفات

نموذج

CVD-LTF14P40

CVD-LTF14P50

CVD-LTF14P60

CVD-LTF14P80

CVD-LTF14T40

CVD-LTF14T50

CVD-LTF14T60

CVD-LTF14T80

نطاق الحرارة الشغالة

300~1400

قرار درجة الحرارة

1

التحكم في درجة الحرارة

± 1

معدل التسخين

0 ~ 20   / دقيقة

طول منطقة التسخين

200mm

400mm

طول منطقة درجة حرارة ثابتة

70mm

140mm

درجة الفراغ

-0.1 ميجا باسكال

وقت تسخين الفرن الفارغ

≤ 15 دقيقة

معدل التسخين عند تكوين أنبوب الفرن

أقل من 500 ≤5 / دقيقة 500-1000≤10 / دقيقة 1000-1200≤5 / دقيقة 1000-1400≤2 / دقيقة

الخارج

ألواح فولاذية مدلفنة على البارد مع طلاء   مقاوم للمواد الكيميائية على السطح

جسم الفرن

ألياف موليت الكريستالات

حجم الفرن

360*350*350mm

560*350*350mm

أنبوب الفرن

أنبوب اكسيد الالمونيوم

حجم أنبوب الفرن

Φ40/34*1000

Φ50/44*1000

Φ60/50*1000

Φ80/70*1000

سخان

قضيب كربيد السيليكون

قوة التسخين

3KW

5KW

طبقة عازلة للحرارة

طبقة مزدوجة لتحويل الهواء القسري

طريق مفتوح

لا

مراقب

P: العرض الرقمي للتحكم في درجة حرارة البرنامج   المستورد ؛ T: برنامج التحكم في درجة الحرارة بشاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات

طريقة التحكم

باستخدام جهاز التحكم بالكمبيوتر الصغير   PID

كيفية التعيين

P: المس خمسة أزرار للعمل ، وإعداد العرض   الرقمي ؛ T: اللمس بالإصبع والنقر للتعيين

طريقة العرض

P: شاشة رقمية LED مزدوجة الخط ؛ T: شاشة   LCD ملونة

توقيت

0 ~ 999.9 ساعة

تشغيل وظيفة

عملية القيمة الثابتة ، تشغيل البرنامج

وضع البرنامج

P: تشغيل البرنامج ، 4 منحنيات ، إجمالي   40 خطوة ؛ T: 50 خطوة يمكن أن تستدعي البرنامج المخزن

المستشعر

اكتب S. الحرارية

وظيفة مساعدة

P: وظيفة التصحيح ؛ T: وظيفة التصحيح ، تسجيل   منحنى في الوقت الحقيقي ، تصدير بيانات قرص U

معدات السلامة

مفتاح حماية تسرب التيار الزائد

عدد الممرات الهوائية

3 قنوات (يمكن اختيار عدد القنوات الهوائية   حسب الاحتياجات الخاصة)

مجموعة تدفق

0-0500sccm (قياسي مل / دقيقة ، اختياري)   معيار النيتروجين

دقة

± 1٪ F.S

وقت الاستجابة

≤4 ثانية

درجة حرارة التشغيل (مقياس التدفق)

5-45

ضغط العمل

ضغط المدخل 0.05-0.3 ميجا باسكال (قياس الضغط)

اتصال النظام

استخدم منفاخ التوصيل السريع KF ، وصمام   الزعنفة اليدوي عالي الفراغ ، وأداة قياس الفراغ الرقمي للعرض

نطاق فراغ النظام

10-100 باسكال

مضخة فراغ

درجة الفراغ النظرية النهائية للمضخة الميكانيكية   ذات المرحلتين هي 3x10-1Pa ، ومعدل الضخ 4L / s ، ومخرج الهواء مجهز بفلتر زيت ،   والجهد المقدر 200V ، والطاقة 0.55Kw

تكوين نظام CVD

1400 درجة فراغ أنبوب الفرن متعدد القنوات   نظام التحكم في التدفق الشامل نظام فراغ

طلب اقتباس

احصل على خصم 50 دولارًا!